Mechanismand model of atomic hydrogen cleaning for different types of carbon contamination on extreme ultraviolet multilayers
Mechanismand model of atomic hydrogen cleaning for different types of carbon contamination on extreme ultraviolet multilayers
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极紫外多层膜上不同类型碳污染的原子氢清洗机理和模型
DOI：
10.1016/j.tsf.2016.06.002
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
Gong Xuepeng
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Song Yuan;Lu Qipeng;Gong Xuepeng
