反応性イオンエッチングによるダイヤモンドナノワイヤの作製

反応性イオンエッチングによるダイヤモンドナノワイヤの作製
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反应离子刻蚀制备金刚石纳米线

DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
仙場浩一
仙場浩一
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
和久井健太郎;米津佑哉;青木隆朗;仙場浩一

文献摘要

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