圧力勾配式高周波マグネトロンスパッタ法を用いたアモルファス窒化炭素薄膜の作製
圧力勾配式高周波マグネトロンスパッタ法を用いたアモルファス窒化炭素薄膜の作製
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压力梯度高频磁控溅射法制备非晶氮化碳薄膜
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
神田 一浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
青野 祐美，寺内 正己;森田 恭司;井上 祐;神田 一浩
