回転楕円ミラー評価のための高精度波面計測装置の開発
回転楕円ミラー評価のための高精度波面計測装置の開発
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开发用于评估球面镜的高精度波前测量装置
DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
齋藤貴宏,竹尾陽子,江川悟,三村秀和
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Takahiro Saito;Yoko Takeo;Hidekazu Mimura;本橋裕美;齋藤貴宏,竹尾陽子,江川悟,三村秀和