Theory on laser sputtering by high-density valence-electron excitation of semiconductor surfaces
Theory on laser sputtering by high-density valence-electron excitation of semiconductor surfaces
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半导体表面高密度价电子激发激光溅射理论
DOI：
10.1016/0039-6028(91)91184-y
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发表时间：
1991
期刊：
影响因子：
1.9
通讯作者：
H. Sumi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Sumi
