SOI/BOX界面凹凸がSOI層中の局所応力および捕獲中心に与える影響
SOI/BOX界面凹凸がSOI層中の局所応力および捕獲中心に与える影響
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SOI/BOX界面不均匀性对SOI层局部应力和捕获中心的影响
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
菅野卓雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
渡邉幸俊;中島義賢;鳥谷部達;花尻達郎;菅野卓雄
