A Design and Simulation of Inertial Force Sensor Using Mach-Zehnder Interferometer with Optical Waveguides Made of Crystal Silicon
A Design and Simulation of Inertial Force Sensor Using Mach-Zehnder Interferometer with Optical Waveguides Made of Crystal Silicon
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晶体硅光波导马赫曾德干涉仪惯性力传感器的设计与仿真
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Yokoyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Suzuki;G.Kawai;H.Izumi;S.Aoyagi;S.Yokoyama;T.Takahashi;S.Aoyagi;Y.Amemiya;M.Fukuyama;S.Yokoyama
