A CS_<CQ-r> Chart to Monitor the Process Defect Rate for High-Yield Processes and Its Economic Design
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高产工艺过程缺陷率监测的CS_<CQ-r>图及其经济设计
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
E.(研究代表者との共著)
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kusukawa;E.(研究代表者との共著)
