c-axis parallel polarity inverted multilayer ZnO film resonators fabricated by grazing ion beam assisted RF magnetron sputtering
c-axis parallel polarity inverted multilayer ZnO film resonators fabricated by grazing ion beam assisted RF magnetron sputtering
复制标题
掠射离子束辅助射频磁控溅射制备c轴平行极性倒置多层ZnO薄膜谐振器
DOI：
--
复制
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Masashi Suzuki
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Takeshi Mori;Takahiko Yanagitani;Masashi Suzuki
