水系洗浄プロセスへの大気圧プラズマ照射の導入
水系洗浄プロセスへの大気圧プラズマ照射の導入
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将大气压等离子体辐射引入水基清洗工艺
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
永井悠
中科院分区：
文献类型：
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作者：
後藤景子;永井悠
