Y.Ohtsu: "Influences of gap distance on plasma characteristics in narrow gap capacitively coupled radio-frequency discharge"Japanese Journal Applied Physics. 43・2. 795-799 (2004)
Y.Ohtsu: "Influences of gap distance on plasma characteristics in narrow gap capacitively coupled radio-frequency discharge"Japanese Journal Applied Physics. 43・2. 795-799 (2004)
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Y.Ohtsu：“窄间隙电容耦合射频放电中间隙距离对等离子体特性的影响”日本应用物理学杂志43・2（2004）。
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