Interaction of SiHx precursors with hydrogen-covered Si surfaces: Impact dynamics and adsorption sites
Interaction of SiHx precursors with hydrogen-covered Si surfaces: Impact dynamics and adsorption sites
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SiHx 前驱体与氢覆盖的 Si 表面的相互作用：冲击动力学和吸附位点
DOI：
10.1016/j.susc.2007.04.086
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
1.9
通讯作者：
L. Miglio
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Cereda;F. Montalenti;L. Miglio
