AlN Grown on a- and n-Plane Sapphire Substrates:by Low-Pressure Hydride Vapor Phase Epitaxy
AlN Grown on a- and n-Plane Sapphire Substrates:by Low-Pressure Hydride Vapor Phase Epitaxy
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在 a 面和 n 面蓝宝石衬底上生长 AlN:低压氢化物气相外延
DOI:
10.7567/jjap.52.08jb31
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发表时间:
2013
影响因子:
1.5
通讯作者:
and Osamu Eryu
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Naoki Goriki;Hideto Miyake;Kazumasa Hiramatsu;Toru Akiyama;Tomonori Ito;and Osamu Eryu