Comparison of Characteristics between Doughnut- and Island-shaped pMUT Utilizing PZT-Based Epitaxial Thin Film
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使用基于 PZT 的外延薄膜的环形和岛形 pMUT 的特性比较
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
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通讯作者：
Liu Ziyi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Liu Ziyi
