M.Shindo,S.Hiejima,Y.Ueda,S.Kawakami,N.Ishii and Y.Kawai: "Determination of negative-ion densityin an electron cyclotron resonance C_4F_8 plasma"Surface and Coating Technology. 116-119. 1065-1069 (1999)
M.Shindo,S.Hiejima,Y.Ueda,S.Kawakami,N.Ishii and Y.Kawai: "Determination of negative-ion densityin an electron cyclotron resonance C_4F_8 plasma"Surface and Coating Technology. 116-119. 1065-1069 (1999)
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M.Shindo、S.Hiejima、Y.Ueda、S.Kawakami、N.Ishii 和 Y.Kawai：“电子回旋共振 C_4F_8 等离子体中负离子密度的测定”表面和涂层技术。
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