New type pn junction temperature-sensor with adjustable sensitivity and its application to mems absolute-humidity sensors
New type pn junction temperature-sensor with adjustable sensitivity and its application to mems absolute-humidity sensors
复制标题
新型可调灵敏度pn结温度传感器及其在MEMS绝对湿度传感器中的应用
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kazuya Kikuchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Mitsuteru Kimura;Shigemi Fujiwara;Kazuya Kikuchi
