Argon dilution effects on diamond deposition in electron cyclotron resonance plasma: a double probe study
Argon dilution effects on diamond deposition in electron cyclotron resonance plasma: a double probe study
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氩稀释对电子回旋共振等离子体中金刚石沉积的影响：双探针研究
DOI：
10.1016/s0040-6090(03)00669-2
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Teii
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Teii;H. Yoshioka;S. Ono;S. Teii
