SiF4凝縮層の低速電子線誘起反応と水素原子のトンネル反応を利用したa-SiNxの極低温合成
SiF4凝縮層の低速電子線誘起反応と水素原子のトンネル反応を利用したa-SiNxの極低温合成
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利用SiF4凝聚层中的慢电子束诱导反应和氢原子的隧道反应低温合成a-SiNx
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中川 清和
中科院分区：
文献类型：
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作者：
坂巻 直;佐藤 哲也;中川 清和
