Crystal Orientation of Sol-Gel Piezoelectric PZT Films and Vibrating Energy Conversion Efficiency on MEMS Buckled Diaphragm Structures
Crystal Orientation of Sol-Gel Piezoelectric PZT Films and Vibrating Energy Conversion Efficiency on MEMS Buckled Diaphragm Structures
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溶胶-凝胶压电 PZT 薄膜的晶体取向和 MEMS 屈曲隔膜结构上的振动能量转换效率
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山下馨
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Z. A. F. M. Napiah;R. Gyobu;T. Hishiki;T. Maruyama;and K. Iiyama;山下馨
