Conversion of perhydropolysilazane-to-silica thin films in basic humid atmosphere at room temperature
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室温碱性潮湿气氛中全氢聚硅氮烷向二氧化硅薄膜的转化
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Uchiyama and H. Kozuka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Nakajima;H. Uchiyama and H. Kozuka
