富铟磷化铟晶体中铟夹杂物基体特征分析

富铟磷化铟晶体中铟夹杂物基体特征分析
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DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
半导体技术
影响因子:
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通讯作者:
刘惠生
刘惠生
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
王昊宇;杨瑞霞;孙聂枫;王书杰;田树盛;陈春梅;刘惠生

文献摘要

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