Si結晶中のき裂先端転位とその内部応力場の赤外光弾性法による可視化
Si結晶中のき裂先端転位とその内部応力場の赤外光弾性法による可視化
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使用红外光弹性方法可视化硅晶体中的裂纹尖端位错及其内应力场
DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
星野由美
中科院分区:
文献类型:
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作者:
東田賢二;田中將己;星野由美