Electromechanical Sigma-Delta Modulators (Sigma Delta M) Force Feedback Interfaces for Capacitive MEMS Inertial Sensors: A Review
Electromechanical Sigma-Delta Modulators (Sigma Delta M) Force Feedback Interfaces for Capacitive MEMS Inertial Sensors: A Review
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DOI：
10.1109/jsen.2016.2582198
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kraft Michael
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Chen Fang;Li Xinxin;Kraft Michael
