垣内弘章,芳井熊安他: "高周波スパッタ蒸着法による多結晶Siの低温成膜に関する研究(第2報)" 精密工学会誌. 63 [2]. 233-237 (1997)
垣内弘章,芳井熊安他: "高周波スパッタ蒸着法による多結晶Siの低温成膜に関する研究(第2報)" 精密工学会誌. 63 [2]. 233-237 (1997)
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Hiroaki Kakiuchi、Kumasu Yoshii 等人：“通过高频溅射沉积进行多晶硅低温成膜的研究（第二次报告）”日本精密工程学会杂志 63 [2]。 ）
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