Y. J. Liu.: "Suppressing the formation of cone structures in Chemical-Vapor-Deposit AlN/TiN films" J. Am, Ceram Soc.79(印刷中). (1996)
Y. J. Liu.: "Suppressing the formation of cone structures in Chemical-Vapor-Deposit AlN/TiN films" J. Am, Ceram Soc.79(印刷中). (1996)
复制标题
Y. J. Liu.：“抑制化学气相沉积 AlN/TiN 薄膜中锥体结构的形成”J. Am，Ceram Soc.79（出版中）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
