Measuring Optical Properties of Advanced Nano/Micro-Periodic Structures Fabricated by Multi-Exposure Interference Lithography
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复制标题
测量多次曝光干涉光刻制造的先进纳米/微周期结构的光学特性
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Satoru TAKAHASHI
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shuzo MASUI;Masaki MICHIHATA;Kiyoshi TAKAMASU;and Satoru TAKAHASHI
