ガス原料CVDを用いたTMDC単層膜成長におけるガラス基板の効果
ガス原料CVDを用いたTMDC単層膜成長におけるガラス基板の効果
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玻璃基板对气态原料CVD生长TMDC单层薄膜的影响
DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
大竹 晃浩
中科院分区:
文献类型:
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作者:
佐久間 芳樹;李 世勝;池田 直樹;大竹 晃浩