強誘電体HfO2基薄膜の結晶相形成に与える熱処理温度の影響
強誘電体HfO2基薄膜の結晶相形成に与える熱処理温度の影響
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热处理温度对铁电HfO2基薄膜晶相形成的影响
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
今野豊彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
白石貴久;Sujin Choi;木口賢紀;今野豊彦
