"Anomalous VFB Shift in High-k Gate Stacks-Is its origin at the top or bottom interface?-"(invited)

"Anomalous VFB Shift in High-k Gate Stacks-Is its origin at the top or bottom interface?-"(invited)
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“高k栅极堆栈中的异常VFB偏移-其起源在顶部还是底部界面?-”(特邀)

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
T.Nabatame
T.Nabatame
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
A.Toriumi;T.Nabatame

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