K.Sano et al.: "Low temperature deposition of SiC thin films on polymer surface by ECR plasma" Electrochem.Soc.Proc.97-25. 1417-1422 (1997)
K.Sano et al.: "Low temperature deposition of SiC thin films on polymer surface by ECR plasma" Electrochem.Soc.Proc.97-25. 1417-1422 (1997)
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K.Sano 等人：“通过 ECR 等离子体在聚合物表面低温沉积 SiC 薄膜”Electrochem.Soc.Proc.97-25。
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