Hiroaki Uetake,Gang Su Jong,and Tadahiro Ohmi: "Proposal for Equipment Standardization by Dual-Frequency-Excitation Plasma Processing" International Conference on Solid State Devices and Materials. 591-593 (1993)
Hiroaki Uetake,Gang Su Jong,and Tadahiro Ohmi: "Proposal for Equipment Standardization by Dual-Frequency-Excitation Plasma Processing" International Conference on Solid State Devices and Materials. 591-593 (1993)
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Hiroaki Uetake、Gang Su Jong 和 Tadahiro Ohmi：“双频激励等离子体处理设备标准化提案”国际固态器件和材料会议。
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