サファイア基板上に形成した白金及びパラジウムのエピタキシャル膜のRBS/チャネリングによる評価
サファイア基板上に形成した白金及びパラジウムのエピタキシャル膜のRBS/チャネリングによる評価
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通过 RBS/沟道对蓝宝石衬底上形成的铂和钯外延膜进行评估
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山本 春也; 箱田 照幸; 宮下 敦巳; 吉川 正人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山本春也;箱田照幸;宮下敦巳;吉川正人;山本 春也; 箱田 照幸; 宮下 敦巳; 吉川 正人
