Y. Funato: "Dynamics of Nox Gases during a Glow Discharge with Sputter Discharge"BULLETIN OF THE AMERICAN PHYSICAL SOCIETY, Vol. 44. 1・II. 1096-1096 (1999)
Y. Funato: "Dynamics of Nox Gases during a Glow Discharge with Sputter Discharge"BULLETIN OF THE AMERICAN PHYSICAL SOCIETY, Vol. 44. 1・II. 1096-1096 (1999)
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Y. Funato：“溅射放电辉光放电期间的氮氧化物气体动力学”，美国物理学会公报，第 44 卷，1・II。
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