光放射圧プローブによる表面微細形状計測に関する研究

光放射圧プローブによる表面微細形状計測に関する研究
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光学辐射压力探头表面精细形状测量研究

DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
金 鐘剛,道畑正岐,高谷裕浩
金 鐘剛,道畑正岐,高谷裕浩
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
T. Nakazato;M. Tsuboi;T. Onose;Y. Tanaka;N. Sarukura;S. Ito;K. Kakizaki;and S. Watanabe;金 鐘剛,道畑正岐,高谷裕浩

文献摘要

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