走査電子顕微鏡内における絶縁体薄膜の表面電位測定

走査電子顕微鏡内における絶縁体薄膜の表面電位測定
复制标题

使用扫描电子显微镜测量绝缘体薄膜的表面电位

DOI:
--
复制
发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
小寺正敏
小寺正敏
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Akio Suzuki;Takayuki Mori;Atsuhiko Fukuyama;Tetsuo Ikari;Ji-Hyun Paek;Masahito Yamaguchi;小寺正敏

文献摘要

相似文献