T.Homma, H.Sato, K.Mori, T.Osaka, S.Shoji: "High aspect ratio nanovolume glass cell array fabri-cated by area-selective silicon electrochemical etching process"Proc. IEEE MEMS2004. 17. 258-261 (2004)
T.Homma, H.Sato, K.Mori, T.Osaka, S.Shoji: "High aspect ratio nanovolume glass cell array fabri-cated by area-selective silicon electrochemical etching process"Proc. IEEE MEMS2004. 17. 258-261 (2004)
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T.Homma、H.Sato、K.Mori、T.Osaka、S.Shoji：“通过区域选择性硅电化学蚀刻工艺制造的高纵横比纳米体积玻璃单元阵列”Proc。
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