田邊,山根,佐々木 等: "Ta窒化物のTa-Al化合物への代替による薄膜キャパシタの容量低減の抑制効果"電子情報通信学会技術研究報告. CPM2000-71. 7-12 (2000)
田邊,山根,佐々木 等: "Ta窒化物のTa-Al化合物への代替による薄膜キャパシタの容量低減の抑制効果"電子情報通信学会技術研究報告. CPM2000-71. 7-12 (2000)
复制标题
Tanabe，Yamane，Sasaki等：“用Ta-Al化合物代替Ta氮化物对薄膜电容器电容减小的抑制作用” IEICE技术研究报告CPM2000-71（2000）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
