ポリグリセロール修飾ナノダイヤモンドを用いた銅膜の平坦化加工に関する研究
ポリグリセロール修飾ナノダイヤモンドを用いた銅膜の平坦化加工に関する研究
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聚甘油改性纳米金刚石平坦化铜膜的研究
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
村井亮太,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐,小松直樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Kaneko，T.K.Watanabe;S.Hashimoto;吉岡黎，兼子佳久;兼子佳久，神部宏典;兼子佳久，林真吾，上野弘，A.Vinogradov;兼子佳久，渡邉隆志;神部宏典，本田恭英，吉岡黎，兼子佳久;田端直樹，兼子佳久，A.Vinogradov，上野弘;林真吾，兼子佳久，A.Vinogradov，上野弘;兼子佳久，河田祐輔;林真吾，兼子佳久，上野弘，A.Vinogradov，橋本敏;兼子佳久，冨山亮，宮本博之，橋本敏;兼子佳久;村井亮太,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐,小松直樹
