Hideki Yamamoto and Junji Shibata: "Disposal of Waste Fluoride and Chloride Gases in the Manufacturing Process of Semiconductors"Proceedings of Second International Conference on Material Processing for Properties (PMP2000). Vol.1. 685-688 (2000)
Hideki Yamamoto and Junji Shibata: "Disposal of Waste Fluoride and Chloride Gases in the Manufacturing Process of Semiconductors"Proceedings of Second International Conference on Material Processing for Properties (PMP2000). Vol.1. 685-688 (2000)
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Hideki Yamamoto 和 Junji Shibata：“半导体制造过程中废弃氟化物和氯化物气体的处理”第二届国际材料加工性能会议 (PMP2000) 论文集。
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