Atomic layer etching of metals with anisotropy, specificity, and selectivity
Atomic layer etching of metals with anisotropy, specificity, and selectivity
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具有各向异性、特异性和选择性的金属原子层蚀刻
DOI：
10.1116/6.0000225
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发表时间：
2020
影响因子：
2.9
通讯作者：
Chang, Jane P.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Sang, Xia;Xia, Yantao;Sautet, Philippe;Chang, Jane P.
