Atomic transport during growth of ultrathin dielectrics on silicon
Atomic transport during growth of ultrathin dielectrics on silicon
复制标题
硅上超薄电介质生长过程中的原子输运
DOI：
10.1016/s0167-5729(99)00006-0
复制
发表时间：
1999
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
I. Baumvol
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
I. Baumvol
