酸化物ターゲットを用いたDC マグネトロンスパッタリングにおけるエネルギー分布関数測定の磁気フィルタ効果
酸化物ターゲットを用いたDC マグネトロンスパッタリングにおけるエネルギー分布関数測定の磁気フィルタ効果
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氧化物靶材直流磁控溅射能量分布函数测量的磁过滤效应
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山下敬彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
安元秀;石場将希;松田良信;喜納淳;山下敬彦
