希ガス中におけるマイクロプラズマ形成の数値解析

希ガス中におけるマイクロプラズマ形成の数値解析
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稀有气体中微等离子体形成的数值分析

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス
影响因子:
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通讯作者:
杤久保 文嘉
杤久保 文嘉
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
内田 諭;杤久保 文嘉

文献摘要

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