Short-term Re-oxidation Behavior of Copper after Hydrogen Radical Treatment

Short-term Re-oxidation Behavior of Copper after Hydrogen Radical Treatment
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氢自由基处理后铜的短期再氧化行为

DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
第28回マイクロエレクトロニクスシンポジウム (MES 2018) 論文集
影响因子：
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通讯作者：
and T. Suga
and T. Suga
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
S. Shin;E. Higurashi;M. Yamamoto;and T. Suga

文献摘要

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