Dependence of Gas Temperature of Oxygen Plasma on Discharge Conditions;
Dependence of Gas Temperature of Oxygen Plasma on Discharge Conditions;
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氧等离子体气体温度对放电条件的依赖性；
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.Akatsuka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Naoi;T.Sakamoto;H.Matsuura;H.Akatsuka
