形状適応研削とボンネット研磨による超精密シリコン光学部品の製作
形状適応研削とボンネット研磨による超精密シリコン光学部品の製作
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通过形状自适应磨削和阀盖抛光制造超精密硅光学元件
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Anthony Beaucamp
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Stefania Zappia;Silvia Destri;Guido Scavia;William Porzio;Umberto Giovanella;Anna-Maria Ferretti;Varun Vohra;Janardan Dagar;Thomas Brown;Anthony Beaucamp
