プラズマエッチング中の剥離パーティクルの突発的多量発生
プラズマエッチング中の剥離パーティクルの突発的多量発生
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等离子蚀刻过程中突然产生大量剥离颗粒
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
上杉文彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
笠嶋悠司;本村大成;上杉文彦
