Progress and perspectives in dry processes for nanoscale feature fabrication: fine pattern transfer and high-aspect-ratio feature formation
Progress and perspectives in dry processes for nanoscale feature fabrication: fine pattern transfer and high-aspect-ratio feature formation
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纳米级特征制造干法工艺的进展和前景：精细图案转移和高深宽比特征形成
DOI：
10.7567/1347-4065/ab1638
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发表时间：
2019
影响因子：
1.5
通讯作者：
et al.,
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Iwase Taku;Koga Kazunori;Ishikawa Kenji;et al.,
