微細段差形状の高速高精度光応用3次元形状測定法
微細段差形状の高速高精度光応用3次元形状測定法
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针对精细台阶形状的高速、高精度光学 3D 形状测量方法
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
安達正明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
安達正明;河村昌範;岩尾雄太;安達正明
