CoBIT Spectroscopy of Mo and Y ions relevant to beyond EUV source development

CoBIT Spectroscopy of Mo and Y ions relevant to beyond EUV source development
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与超极紫外光源开发相关的 Mo 和 Y 离子 CoBIT 光谱

DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Nobuyuki Nakamura
Nobuyuki Nakamura
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Emma Sokell;Safdar Ali;John Sheil;Hiroyuki Kato;Nobuyuki Nakamura

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